손인규

연구분야

• Development of Next-Generation Ultra-Low-k Thin Films for BEOL Integration via Atomic Layer Deposition, 
• Next-Generation Electronic Device, 
• Synthesis of Two-Dimensional Transition Metal Chalcogenides and Their Applications in Electronic and Optoelectronic Devices, 
• 원자층 증착법 기반 차세대 BEOL향 ULK 박막 증착, 
• 이차원 전이금속 칼코겐 화합물 합성 및 이를 응용한 소자, 
• 차세대 전자소자