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배종현
Bae, JongHyun
인공지능융합대학
연구분야
- Atomic Layer Deposition,
- high thermal conductivity BeO,
- power semiconductor,
- 고열전도도 베릴륨산화물,
- 원자층증착방식,
- 전력반도체
자료 필터
자료유형
발행연도
2024 ~ 2025
2024 2025
선택된 필터
- article
- conference
- book
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2025
Article
High-quality BeO films fabricated using discrete feeding plasma-enhanced atomic layer deposition
- 배종현 ;
- Chae Juyoung ;
- Jang Yoonseo ;
- Jung Dohwan ;
- Han Sangoh ;
- 외 3명
- 2025-08
- Ceramics International
- Elsevier
2024
Conference
Thermal Conductivity Measurements of BeO Thin Films Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
- Jihyun, Kim ;
- 배종현
- 2024-10-16
- 대한민국
Conference
Demonstration of Atomic Layer Deposition of BeO using Discrete Feeding Method
- 2024-01-25
- 대한민국